特殊環境用構造部品
半導体製造や洗浄工程などの特殊環境で使用される、セラミックスおよび樹脂製の高精度装置部品を提供しています。耐熱・耐薬品・低発塵など、金属では実現が難しい特性に対応します。ジルコニアや炭化ケイ素などの材料選定から複雑形状の精密加工まで一貫して対応し、装置の安定稼働と長寿命化を支えます。
機能部品・ヒーター
セラミックス部品
セラミックスは、耐熱性・耐薬品性・絶縁性などの特性から、特殊環境装置において重要な構造部材として使用されています。
日和精工では、半導体製造装置や洗浄装置、化学装置向けに、ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素などの先進セラミックス部品を提供しています。
耐摩耗性・耐熱性・絶縁性などの特性を活かし、用途や使用環境に応じた材料選定、成形・焼結プロセスの検討、精密加工まで一貫して対応します。
金属材料では対応が難しい過酷な環境においても、装置の安定稼働を支える高精度部品を提供しています。
主な材料
- ZrO₂（ジルコニア）：高強度・高靭性・耐摩耗性
- Si₃N₄（窒化ケイ素）：高強度・耐熱衝撃性・低密度
- SiC（炭化ケイ素）：高硬度・高耐熱性・高耐腐食性
- ナノコンポジットセラミックス：耐摩耗性と高強度を兼ね備えた複合材料
エンジニアリングプラスチック部品
軽量で耐薬品性に優れたエンジニアリングプラスチック部品を提供しています。
日和精工では、フッ素系樹脂や耐熱エンジニアリングプラスチックを用途や使用環境に応じて選定し、洗浄装置や化学装置の流体部品などに対応しています。
低発塵性や生体適合性が求められる環境においても、材料技術と精密加工を組み合わせた最適な部品提案を行っています。
主な材料
- フッ素系樹脂：PTFE / PFA / PVDF / PCTFE
- 耐熱エンジニアリングプラスチック：PEEK / PI / PPS
高速高温ヒーター
最短80秒で2000℃まで到達する高速高温ヒーター炉「Pascal-40」をはじめ、長寿命シースヒーターや真空対応パネルヒーターなどの加熱装置を取り扱っています。
研究開発装置から製造装置への組み込みまで、日本のヒーターメーカーと連携した確かな技術で提案します。
材料評価や熱処理試験など、高度な温度制御が求められる現場に対応しています。
ヒーター製品
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シースヒーター -
金属プレートヒーター -
特殊カーボンヒーター
シースヒーターおよびプレートヒーターは最高800℃、特殊カーボンヒーターは最高1500℃の高温に対応しています。
真空や特殊雰囲気環境においても、均一な加熱と安定した温度制御を実現します。
国内メーカーとの連携により、設計から製造まで一貫した対応が可能です。
超高速高温炉 Pascal-40
超高温小型真空雰囲気炉「Pascal-40」は、室温から2000℃までわずか80秒で昇温可能な高速加熱炉です。
真空および不活性ガス環境に対応し、コンパクトながら材料評価や高温熱処理試験を高精度に行うことができます。
研究開発用途から先端材料プロセスまで、次世代の加熱装置として提案しています。
セラミックス開発支援
日和精工では、先進セラミックスに関する知見と製造ネットワークを活かし、お客様の新製品開発を技術面から支援しています。
材料選定から試作評価、成形・焼結プロセスの検討まで、研究開発段階における幅広い技術相談に対応しています。
機密保持（NDA）を徹底し、知的財産に配慮しながら、研究開発から製品化に向けた技術検討をサポートします。
技術支援内容
- セラミックス材料選定の技術支援
- 特殊ジルコニアおよび機能性セラミックスの技術相談
- ナノコンポジットセラミックスの開発支援
- セラミックス部品設計の技術支援
- 成形・焼結プロセスの検討支援
- セラミックス部品の試作・評価支援
